利用MEMS惯性感测技术实现应用变革(1)

 MEMS(微电子机械系统)技术被用于安全气囊和汽车压力传感器领域已有二十年左右，但却是任天堂Wii和苹果iPhone的热销使人们更广泛地了解惯性传感器的用途，这些产品使用了基于运动感测技术的用户界面。

尽管如此，在一定程度上业界的观念仍停留在惯性传感器主要是用于终端产品检测加速度和减速度的应用。从纯粹的科学角度来看，这种说法完全正确，但这样的观点却忽略了许多MEMS加速计和陀螺仪的扩展应用，包括在医疗设备、工业设备、消费电子产品和汽车电子等领域。

五种运动感测模式中，每一种模式都将极大地超越当前大批量MEMS的应用。这五种模式分别是：加速(包括平移运动，如位置和方向的改变)，震动，冲击，倾斜，旋转。

例如，一个带运动检测的加速计在设备没有受到外界移动或震动时将其界定为非激活状态，并指示设备进入最低功耗模式，从而实现功率管理。复杂的控制机构和物理按钮被手势识别接口替代，而它是通过手指点击来控制。在其它使用案例中，终端产品的操作变得更精确，例如，对用户手中的指南针进行倾斜角度补偿。

本文介绍了一些应用案例，分享先进的商业化MEMS加速计和陀螺仪通过5种类型的运动感测来改变众多不同范围的终端产品的方法。

运动感测和MEMS介绍

加速、震动、冲击、倾斜和旋转——除了旋转外，其它四种运动实事上都是加速度在不同时间段的表现。然而，我们人类是无法靠直觉来做出运动状态的判断，例如震动是加速还是减速。分别地考虑每一种模式可以帮助我们想出更多可能的应用。

加速度(包括平移运动)是测量在单位时间内的速度变化。速度以米/秒(m/s)来表示，并且同时包括位移速率和运动方向。因此，加速度就以米/秒2(m/s2)来表示。加速度有时候会是负值——如司机踩刹车时车速变慢，这时也被称作减速度。

现在来考虑加速度在不同时间段的表现。震动可被认为是迅速且周期性发生的加速和减速运动。类似的，冲击则是瞬间发生的加速，但是不同于震动，冲击是一种非周期性运动，一般只发生一次。

我们把时间再延长一些。当对象被移动而改变倾斜度或偏角时，与重力相关的一些位置变化被牵扯进来。与震动和冲击相比，倾斜运动的发生往往相当缓慢。

由于前四种模式的运动感测各自都与加速度有某种关系，它们可通过“g力”(地球引力)来测量，g是万有引力对地球上物体产生的单位力(1g等于9.8m/s2。)。MEMS加速计通过测量重力对加速计轴的作用力来检测倾斜度。以3轴加速计为例，三个不同的输出分别测量运动的X、Y和Z轴加速度。

时下占市场最大份额的加速计使用差分电容测量g力，接着g力被转换成电压或数据位(数字输出加速计应用)，最后被传递到微处理器上以便执行某种行为。近来在技术上取得的进步，使业界能制造出低g和高g感测范围的微型MEMS加速计，且比以往产品的带宽更高，从而大大增加了潜在应用领域。低g感测范围是指低于20g，这可以涉及到人类能产生的运动。高g则用于感测与机器或交通工具有关的运动—也就是人类没法产生的运动。

以上我们讨论的仅是线性速率运动，运动类型包括加速、震动、冲击和倾斜。旋转则是一种角速率运动的测量，它不同于其它运动模式，这是因为旋转运动可能不伴有加速度的变化。为了理解旋转的工作原理，我们想像一个3轴惯性传感器：假定传感器的X和Y轴与地球表面是平行的，Z轴指向地心。在这个位置，Z轴测得的作用力为1g，而X和Y轴则为0g。现在转动传感器使其运动仅与Z轴相关。X和Y平面在转动，继续测得0g，同时Z轴仍然为1g。

MEMS陀螺仪被用于感测这种旋转运动。由于某些终端产品除了测量其它类型的运动外还必须测量旋转运动，陀螺仪可被集成在一个内嵌多轴陀螺仪和多轴加速计的IMU(惯性测量单元)中。